微量水分測試儀主要分為四種類型

　　1、電解法

　　五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個玻璃材質的圓柱和兩根并行的電極組成，根據(jù)具體應用來選擇電極材質(通常由鉑或銠金屬絲制成)，并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4，在兩電極之間出現(xiàn)的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2。此過程的最后產物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質，因此從氧氣中吸收水分，通過連續(xù)的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應該是平衡的。電極電流與氧氣中水分含量成比例，信號經(jīng)過儀器內部信號放大器處理，然后顯示并數(shù)據(jù)讀出。此原理用來測量所有氣體。包括Cl2、HCl、H2S、H2SO4、HBr、SO2、SF6、CO2等氣體和全部惰性氣體，極少數(shù)會同磷酸發(fā)生化學反應的氣體除外。

　　P2O5探頭適用于測量各種惰性氣體、碳氫化合物或根據(jù)所選擇的探頭材質應用于HCl、Cl2或SO2等腐蝕性氣體中。探頭與氧氣接觸的材料可以是玻璃、鉑或銠，其他材質也可以提供。

　　樣氣以特別的傳遞方式流經(jīng)探頭，再結合一個高質量的界面。從而確保探頭響應迅速和受干擾影響很小，這些設計對于很低的ppm級測量十分重要。流經(jīng)探頭的樣氣流速通常設置在20Nl/h(100Nl/h可選)。與分析儀的電氣連接器為防水密封結構。用戶可以十分容易地在五分鐘內完成探頭的再生工作。探頭可以通過3個M4螺絲十分容易的安裝在任何地方。

　　優(yōu)點：測試靈敏度高，適合非常微量的水/痕水測試，同時可以測量腐蝕性氣體。

　　缺點：傳感器需要定期重涂，漂移較大，易受H2，O2等背景氣影響。平衡時間長，響應慢。

　　2、阻容法(電容法)

　　利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到氧氣的濕度。該方法的主要優(yōu)點是測量量程可更低，甚至達-100℃，另一突出優(yōu)點是響應速度非?？?，從干到濕響應一分鐘可達90%，因而多用于現(xiàn)場和快速測量場合；缺點是精度較差，不確定度多為±2～3℃。但隨著各廠家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過改變材料和提高工藝使得傳感器穩(wěn)定度大大提高，通過對傳感器響應曲線的補償作到了飽和線性，解決了自動校準問題。

　　優(yōu)點：反映速度快。

　　缺點：精度較差。

　　3、冷鏡法

　　讓氧氣流經(jīng)露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態(tài)(冷凝鏡上有液滴析出)，測量冷凝鏡此時的溫度即是氧氣的露點。該方法的主要優(yōu)點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術后，不確定度甚至可達0.1℃；缺點是響應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對氧氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產生‘偽結露’造成測量誤差。

　　優(yōu)點：精度高。

　　缺點：響應速度慢。

　　4、光纖法

　　該技術是20世紀末發(fā)展起來的一種新型測量技術，將微量水分析技術提高到了一個新的水平。光纖濕度傳感器的表面為具有不同反射系數(shù)的氧化硅和氧化鋯構成的層疊結構，通過先進的熱固化技術，使傳感器表面的孔徑控制在0.3nm，0.28nm的水分子可以滲入。控制器發(fā)射出一束790-820nm的近紅外光，通過光纖電纜傳送給傳感器，進入到傳感器的水分子會改變光的反射系數(shù)，從而引起波長的變化，該變化量與介質的水分含量成相應的比例關系。通過測量接收到的光的波長，就可以得到介質的露點及水分含量。

　　優(yōu)點：精度高，免維護，非常穩(wěn)定，可測量含H2S、HCL等的腐蝕性介質。

　　缺點：傳輸光纖易折斷，需要保護。